5.雙麵拋光法

雙麵拋光法適用於平行度要求高（gāo）的薄片,如石英波片（piàn）、濾光片、平行平麵窗等，行星式雙麵研磨拋光機使用很廣泛,太多引進國外機床,國內風（fēng）雷機械廠有這類機床產品. 通常上下拋光模用聚氨酯製（zhì）造,中間工件隔離圈用聚四氟（fú）乙烯薄板或（huò）有機玻璃板、PVC板製造,利用工件（jiàn）在分離器孔的位置互換使工件的平行度（dù）得到修正,工件的平麵性主（zhǔ）要是拋光模的輪廓複印,要求高時仍要做微（wēi）量修正，實際上,在二軸機（jī）上采用檔（dàng）圈也可以（yǐ）實現雙麵拋光,不僅可以加工平行平麵,還可以加工小圓柱棒,圖九是二軸機雙麵精磨與拋光示意圖。

(三) 、計算機控製拋光與（yǔ）離子拋（pāo）光

 

計（jì）算機控製拋光（guāng）(CCP)是利用小拋光頭在工件上作局部拋修運動,邊檢邊修,再過幾個循（xún）環,使平（píng）麵達到很高的精度,離子拋光與CCP類似,把小拋光頭換（huàn）成離子束就成了離子拋光,離子拋光不僅提高（gāo）了麵形精度,而且改善了表麵（miàn）粗糙度.計算機控製拋光在浙江（jiāng）大學（xué）、北京理工大學、長春（chūn）光機所與成都光（guāng）學工程中心等（děng）均（jun1）先後開展（zhǎn）這項研究工作,後者還從俄羅斯引進了CCP三軸與五（wǔ）軸（zhóu）拋光機,加工出不少高精度平麵.離子（zǐ）拋光在國內仍屬空白.圖十是浙大CCP實驗裝置與俄羅（luó）斯國立光學（xué）研究所的計算機上控製拋光機（jī）.

圖十a.浙（zhè）江大學試驗裝置

圖十b.俄羅（luó）斯國立光學研究所的計算機控製拋光機

 

(四) 、單點金剛石飛切光學平麵

 

美國Pam&Pneumo Inc. 生產的MSG-325金剛石車床用飛切（qiē）方（fāng）法加工（gōng）過ø170mm KDP晶體高精度平行平（píng）麵,用作倍頻器（qì）;用飛切方法香港理工大學、雲南光儀廠等單（dān）位的Nanoform300也可以實現平麵（miàn）的（de）飛（fēi）切.

 

我國為了（le）解決270X270及310X310mmKDP平麵（miàn）加工問題，近年引進了俄國NCM-600立式飛切平麵機床(圖十一)

圖十一.NCM-600立式飛切平麵機床

 

加（jiā）工工件（jiàn）直徑可達ø550mm,其工作原理為單點金剛石（shí）飛刀高速旋轉,形成一個圓（yuán）的軌（guǐ）跡，工作的直線運動（dòng）,使單點包絡成一個平麵,平麵的精度主要取決於機床運動的超精密（mì）度.主軸跳動:0.05ｕm，主軸剛性：200N/um，導軌的（de）直線性0.1um/250mm,在這個（gè）機床上（shàng）已經加工出ø270KDP平麵,透過（guò）波麵達λ/2(PV)精度,在（zài）此基礎上我國將開（kāi）始研製這種機床,技術指標將超過MO-600的水平。

 

(五) 、棱鏡的大（dà）批（pī）量生產

 

對於等精度（dù）或低精度棱鏡的大批量生產通常都是成條加工完（wán）成拋光,然後用內圓切（qiē）割機割開,如棱鏡尺寸小（xiǎo）時可以用高（gāo）速排條鋸割開,一次可（kě）以同時切割多隻棱鏡.棱鏡的精（jīng）磨拋光可以用金屬夾具上盤,一個夾具可以加工一個麵（miàn）(圖十二)或三個麵(圖十三).

(六)高精（jīng）度棱鏡（jìng）的加工方法

 

高精度棱鏡的批量生產通常采用組合光膠法.圖（tú）十四為用長方體與平行（háng）平麵光膠板組合光膠加工直角屋脊棱鏡屋脊角的例子.

五、光學平（píng）麵的檢測

 

平麵的（de）麵形檢測除用樣板看光圈、菲索（suǒ）幹涉儀看幹涉條紋以外特別推薦下列測量方法

 

平麵麵形快速測量法

 

在立柱式幹涉儀上當主光線（xiàn）向上出射時,工件被檢麵可以在測環上（shàng）東魏測量,定（dìng）位麵就（jiù）是被檢麵,這樣就可以連續測（cè）量（liàng）,不需要重新調整工件位置,如圖十五為寧波華光儀器有限公司生產的數字（zì）幹涉儀（yí）上測量平麵數字條紋.

 

圖十五a.寧波華光儀（yí）器有限公司CQG-II車間數字幹涉儀(儀器全（quán）貌)

圖十（shí）五（wǔ）b.寧波華（huá）光（guāng）儀器有限公司CQG-II車間數字幹涉儀(測試報告)

ø150平麵幹涉儀的數字化

 

國內最普通的平麵幹涉儀是（shì）ø150平麵（miàn）幹涉儀,光路由上而下,這類儀器隻要裝上適（shì）當附件(PZT掃描儀)很容易實現數字化,圖十六為浙江大學與（yǔ）上海星慶光儀公司研製成功並用（yòng）於生產的 (XQ-15).

圖十六.ø150平麵數字幹涉儀

微小平麵（miàn）的（de）透過玻（bō）麵畸（jī）變測量

 

ø4～ø1mm平麵的測量可在CQG-II型幹涉儀加上4X或8X放大鏡就（jiù）可實現(圖十（shí）六).

圖十（shí）六a.微小平麵的透過波麵畸變測量(測量原理)

 

特大平麵（miàn）的麵形測（cè）量

 

可以采用幹涉（shè）儀的（de）康蒙方（fāng）法來實現，圖（tú）十七（qī）表示在幹涉儀上測（cè）量標準凹球麵,在（zài）凹球麵光路中45°方向放入被檢平（píng）麵（miàn）,幹涉條紋所判讀誤差為被檢平麵的麵形誤差,這就是康蒙方法在幹涉儀中的應用。