平麵度（flatness;planeness)，是屬於形（xíng）位公（gōng）差中的一種，指物體表麵具有的宏觀凹凸高（gāo）度相對理想平麵的偏差。在傳統的檢測方法中，平麵度的（de）測量通常（cháng）有：塞規/塞尺測量法、液平麵法、激光平麵幹涉儀測量法（fǎ）（平晶幹涉法）、水平（píng）儀/數字水平儀測量法、以及打表測量法。

塞尺測量法，隻需一套可隨身攜帶的塞尺就可隨時隨（suí）地（dì）進行平麵度的粗（cū）測（cè）。目前很多工廠仍使用該方法進行檢測。由於（yú）其精度不高，常規最薄（báo）塞（sāi）尺為（wéi）10um，檢測效率較低，結果不夠全麵，隻（zhī）能檢測零件邊緣。

液平麵法，基於連通器工作原理，適合測量連續或不連續的大（dà）平麵的（de）平麵度，但測量時間長，且對溫度敏感，僅適用於測量精度較低的平麵。

激（jī）光平麵幹涉儀測（cè）量法，最（zuì）典型的用法是平晶幹（gàn）涉法。但主要於測量光潔的小（xiǎo）平（píng）麵的測量，如千分頭測量麵，量（liàng）規的工作麵，光（guāng）學透鏡。

水平儀測量法，廣泛用於工件表麵的直線度和平（píng）麵度測量。測（cè）量精度高、穩定性好、體積小、攜帶方便。但是用該方法測量時需要反複挪動儀器位置，記錄各測點的數據，費時、費力，調整時間長，數據處理（lǐ）程序繁瑣。

打表測量法，典型應用為平板測微（wēi）儀及三坐標（biāo）儀，其中優以三（sān）坐標儀為應用最廣泛。測量時指示（shì）器在待測（cè）樣品上移（yí）動，按（àn）選定的布點（diǎn）測取各測量點相對於測量基準（zhǔn）的數據，再經（jīng）過數據處（chù）理評定出平（píng）麵度誤（wù）差（chà）。但其效率較低，通常一個（gè）樣品需要幾分鍾，離15ppm的期望相差甚遠。