增透膜介紹
用於玻璃和(hé)塑料基底上的增透膜
在光學係統中,一(yī)個相當(dāng)重要的組成部分是鏡片上能降低(dī)反射的鍍膜。在很多應用領域中,增透膜是不可缺少的,否則,無法達到應用的要求。
就拿一個由18塊透鏡組成(chéng)的35mm的自動變焦(jiāo)的(de)照相機來說,假定每個玻璃和空氣的(de)界麵有4%的反射,沒有增透的鏡頭光透過率為27%,鍍有一層膜(剩餘的反射為1.3%)的鏡頭光透過率為66%,鍍多(duō)層膜(剩餘的反射為0.5%)的為85%。
用於玻璃基底的(de)增透膜
經典的單層增透膜由一薄層MgF2構成(chéng),MgF2在510nm時的折射率為n=1.38,需要的膜厚為d=92nm。因此,在(zài)510nm波長時(shí)膜(mó)層有一個光學密度(厚度)n*d為1/4的波長。鍍在(zài)加熱到250-300°C的(de)玻璃基底上的MgF2,不但(dàn)牢固,穩定,並且(qiě)相當方便,經濟(jì)。
想得到更低的反射率,最簡單的方法是鍍一層CeF3和一層MgF2(各為1/4的光學厚度),可用蒸發船。2層膜的優(yōu)點是在可見光範圍的中段有更低的反(fǎn)射率,缺點在於在紅(hóng),藍端的反射率上升過快。
由(yóu)於2層膜的效果不理想,為了達到理想(xiǎng)的效果,必須使用3層或多層膜。
經典的3層膜由一層1/4光學厚度的中折射率物質(1.6-1.7),一層1/2光學厚度的高折射率物質(2.0-2.2)和一層1/4光學厚度的低折射率物質組成。最常(cháng)用的是Al2O3,ZrO2和MgF2。
在整個光學敏感段(410-680nm)的反射率低(dī)於0.5%。3層增透膜的膜料選擇
膜料對膜層效果有決定性的影響。除了理想(xiǎng)的(de)折射率(lǜ),每次鍍膜時穩定的折射率,均勻(yún)的膜層,低吸收性,牢固(gù)性,穩定性也非常(cháng)重要(yào)。
MgF2是(shì)最常用的第三層低折射率物質。但是,由於塑料不能被高溫加熱,用MgF2會使膜層變軟和不穩定,此時,SiO2是最佳的選擇。
Al2O3是(shì)最常用的第一層中折射率物質。它的膜層從紅外到紫外線有相當高的透過率,十分牢固,穩定,並且每次鍍(dù)膜時有穩定的折射(shè)率。
ZrO2通常被用(yòng)作第二層高折射(shè)率物質。它的優點是從250到7000nm有寬廣的透過率,並且,膜層(céng)牢(láo)固,穩定。但是,每次鍍膜時呈(chéng)現不同的折射(shè)率,也就是折射(shè)率會隨著膜厚的增加而降低,這種現象可能和它的特(tè)殊晶體結構有關。在五個單獨(dú)的膜層中ZrO2不同的折射率。我們可以(yǐ)看到和(hé)和同次性的膜料相比,折射率有急劇的上升,特別是在中段。ZrO2的另一個(gè)缺點是在蒸發是它隻是部分的溶解,因此,很難得到(dào)均勻的膜厚。
為了(le)減少單體(tǐ)氧化物的這(zhè)些缺點(diǎn),可以使用(yòng)混合氧化(huà)物。這(zhè)些混合料可以根據客戶不同的折射率需要來生產。
德國默克公司根據客戶大(dà)量的實際使用情況和(hé)多年的膜料生產經驗,研製開發了一係列的混合(hé)料:
H1, 高折射率, 2.1-2.15
H2, 高折射率, 2.1-2.15
H4, 高折射率, 2.1-2.15
M1, 中折射率, 1.65-1.7
H1,H2和H4可以被用來生(shēng)產高折射率的膜層,在250°C的基底上2.1-2.15的折射率具有同(tóng)次性(xìng)。M1可以被用來生產中折射率得(dé)膜層。H1,H4和M1也(yě)能(néng)鍍在未經加熱的基底上,折射率會降低。
H1在從可見(jiàn)光到紫外的波段內有相當(dāng)高的透過率(lǜ),在360nm左右有吸收。但是,同ZrO2一樣,無法從溶(róng)解的狀態下被蒸發,因此較難得到(dào)比較均(jun1)勻的(de)膜層。
H2在可見光的波段內有(yǒu)很高的透過率,但是(shì)在380nm時有截止吸(xī)收,這意(yì)味著當鍍(dù)膜條件不理想時,1/2光學厚度的末曾在400nm時會有0.5%的吸收。H2的優點在於它能從溶解的狀態下(xià)被蒸發,因此有良好的同次性和均勻(yún)的膜厚。
H4在(zài)可見光的(de)波段內有很高的透過率,像H1一樣,在360n左右有吸收。它也能從溶解(jiě)的狀態下被蒸發,具有良好的同次性和均勻的(de)膜厚。
M1在從近紅外到近紫外的波段內有很高的透(tòu)過率,在300nm時有吸收。它(tā)也能從溶解的狀態下被蒸發,具有良好(hǎo)的同次性和均勻的膜厚。此物(wù)質適合於在高折射率的膜層上鍍增透膜。
我們也可(kě)以僅用(yòng)氧化物來鍍增透膜。有時會需要很薄(báo)的膜厚,在(zài)膜厚和折(shé)射率上(shàng)微小的變動(dòng)都會有很大的影響,因此相對於經典的3層(céng)膜係來(lái)說要難得多。從(cóng)中可以看出,3層膜在中間波段有最低的反射率,但是4層膜C有著3層膜無法實現(xiàn)的(de)從400到700nm寬廣的低於0.5%的反射率。
用於塑料基底的增透(tòu)膜(mó)在塑(sù)料基底上鍍膜,我(wǒ)們無法(fǎ)在(zài)鍍膜過程中加熱基底。因此,我們必須膜料的選擇(zé)上倍加小(xiǎo)心以確保它能在低溫下形(xíng)成穩定(dìng)的膜層。此外,由於溫度偏(piān)低,折射率也隨(suí)之變低(dī),因此,相應的膜層設計也(yě)要改變。
MgF2不能在低溫(wēn)下被蒸鍍,因為隻有在200°C以(yǐ)上的(de)溫度時它才能形成穩定的膜層。因此,我(wǒ)們隻(zhī)能選擇氧化物(wù)來蒸鍍。
我們可以使用下列氧化物:
SiO2 在塑料基底上的折射率為 1.45
Al2O3 1.62
M11.65
Y2O3 1.8
ZrO2 1.9
H11.95
H41.95
TiO2 1.9-2.0
H2不能在低溫下被蒸鍍,因為它在藍光波段有吸收。
最常用的塑料(liào)基底是:
CR39 折射率為 1.5
聚碳酸酯1.59
PMMA1.48-1.50