紅外窗口材料主要用作紅外探測器和飛行器中的窗口、頭(tóu)罩或整流罩等,因而,要(yào)求材料在相應工作波段上具有盡可能高的透(tòu)過(guò)率,自輻射盡可能小,以免產生(shēng)假信號(hào)。作為窗口材料還需能夠承受惡劣的環境條件,特別是能夠承受氣動加速,因此它必須具有較高熔點,在高溫下具(jù)有良好的力學性能,耐熱衝擊,耐高低溫交變,耐振動,耐粒(lì)子侵(qīn)蝕和(hé)化學穩定性好等(děng)特(tè)點。

此外,要易於製成大(dà)塊材料,具有(yǒu)良好的加工性能,便於加工成形。ZnSe是一種優秀的紅外窗口材料,是紅外透鏡、激光窗口、紅外夜像(xiàng)儀的首選材料。

光學加工將影響znSe晶體的宏觀應力。加工中引入的(de)宏觀應力將降低(dī)ZnSe晶體的力學性能,並影響作為紅外窗口(kǒu)材料的雨蝕抗力、熱衝擊(jī)抗力和固體顆粒衝擊抗力。同時加工中引(yǐn)入的宏觀應力將影響加工之後的znse晶體鍍膜質量。

化學一機械加工中產生的宏觀應力大小與化學機械加工工藝有關,這主要是機械設備的控製和拋(pāo)光液(yè)的(de)選擇。采用自行設計的化學一機械(xiè)加工工藝加工ZnSe透(tòu)鏡,用(yòng)X射線衍射分析技術測定Z11se器件在加工過(guò)程中(zhōng)宏觀應力(lì)的(de)變化。

結果表明:加工前(qián)的器件和拋光後器件的宏觀(guān)應力相近,說明加工過程對器件的宏觀(guān)應力影響(xiǎng)小,這對器件的應用非常有利。

同時,證(zhèng)明所選用的拋光液和機械設備參數是(shì)理想的,有(yǒu)效地減弱了拋光過程對ZnSe晶格的機械衝(chōng)擊力,加(jiā)強了(le)拋光液的氧化能力,使加工過程中引入加工器件表麵的損傷層厚度(dù)接近為零,即所采用的Znse晶體化學一機械(xiè)法是(shì)成功的。