由於激光的相幹（gàn）性, 微型（xíng）小曲率半徑（jìng）雙凹球麵擴束鏡表麵或（huò）內部微小疵（cī）點、微粒等會在準直後的激光束周圍（wéi）產生雜散光斑（bān）, 會降低激光束質（zhì）量, 增大（dà）光能（néng）耗損, 因此在（zài）激光器產品中對微型擴束鏡的質量要求具有與常規透鏡不同的更為嚴格的技術要求, 即表（biǎo）麵粗糙度必（bì）須達到01004 Lm( Ra) , 屬準（zhǔn）超光滑表麵.

微型擴束鏡加工工藝的特點

( 1) 高速高壓與（yǔ）中速低壓相結合（hé）的（de）工藝超光滑工藝應該用低速低壓, 在杠杆光學機上（shàng）主軸轉速（sù）在10ypm 以（yǐ）下, 壓強在200Pa 以下, 但這樣的參數取砂眼速度很慢, 所以選用（yòng）高速高（gāo）壓進行先期加工, 除取砂眼, 達到初步目的（de）。

( 2) 超微粉拋光液與紅粉拋（pāo）光液的使用一般拋光粉( CeO2) , 其顆粒為幾微米大小, 甚至幾十微米, 超光滑工（gōng）藝要求1 微米（mǐ）以下, 才有較好的效果, 我們用沉降法達到超微粉顆粒, 也可選用紅粉( FeO3) , 會有更好的效果。

( 3) 特殊的拋光模的作用通常在低速低壓超光滑（huá）工藝中的拋光（guāng）模不（bú）能用聚氨酯, 應用柏油模, 並且要比常（cháng）規的拋（pāo）光模要軟一號, 而（ér）我們采用了特製的拋光模, 使用中速低（dī）壓, 並加入潤滑劑, 解決傳統（tǒng）式的缺陷, 效（xiào）果很（hěn）明顯。

( 4) 工作（zuò）溫度控製一般情（qíng）況下, 高效拋光時拋光液溫度為25~30 e , 我們而超光滑（huá）拋光時工作溫度為20~ 25 e ,根據拋光劑的種類與工件玻璃牌號（hào）經過（guò）試驗, 確定（dìng）了符合拋光模條件的更佳工作溫度。

( 5) 無拋光劑拋光超光滑的最後階段應該加水拋光, 而我們更注重無（wú）雜質的PH 值為7 的（de）中性純淨水（shuǐ）進行修正拋光。

( 6) 檢驗方法為（wéi）防（fáng）止（zhǐ）在檢（jiǎn）驗過程中的碰傷或誤檢、漏檢而（ér）影響（xiǎng）質量, 經過研究, 我們選用了無觸點（diǎn）式的激光光斑檢驗法, 以確保產品質量的穩定出廠合格率。

微型擴束鏡相對（duì）孔徑大, 又是凹球麵, 要想（xiǎng）達到高等級表麵疵病質量和準超光（guāng）滑表麵難度很大, 經（jīng）過試驗研究, 已（yǐ）取（qǔ）得了初步成（chéng）效（xiào）, 產品一次送檢合格（gé）率已達到80% 以（yǐ）上, 且生產效率也很滿意。堅信21世紀是光（guāng）電的世紀, 激（jī）光領域的前景一定會越來越廣闊, 作者更願與更多的激光器生產企業共（gòng）同攜手合作, 生產出更多高（gāo）質量、低成本（běn）的激光準直擴束鏡, 為激光事業的發展作（zuò）出更大的（de）貢獻。