傳(chuán)統的光學(xué)係統設計通常利用透(tòu)鏡的折射(shè)特性,但是對於需要在廣泛的(de)激光波長範圍內實(shí)現多光譜成像的應(yīng)用,基於透鏡(jìng)的係統就明顯無法勝任了。相比之下,反(fǎn)射光學係統不但能夠解決大功率多光譜傳輸,而且還能(néng)有效降低係統(tǒng)複雜度,節約本錢。
在激光聚焦和(hé)多光譜成像應用中,折射式鏡(jìng)頭的麵型設計麵臨著兩大主要挑戰:挑戰(zhàn)之一是散射,事實上這也是每種介質的固有特性,波長決定了(le)光束通過鏡頭的速度。散射導致不同波長的光(guāng)線在(zài)聚焦時,焦點位置會有(yǒu)差異。複(fù)合鏡頭(tóu)可以解決這個題目——通過選擇各種不同的材料做成鏡頭,由於(yú)每(měi)種材料都具有(yǒu)不(bú)同的光學特性,因此(cǐ)彼此(cǐ)之間可以(yǐ)互相平衡散射。
然而(ér),這種方法隻能工(gōng)作在有限的波段,通常是工(gōng)作在一些特殊波段,如可見光波段、近(jìn)紅外波段以及短波紅外(wài)波段(SWIR)等。帶(dài)寬越寬,需要的元件就越多。這種折射方法除了需要花(huā)費更多的時間和(hé)本錢外,其光(guāng)學透射範圍也會(huì)受到各種鏡片的化學性質和固有特性的限製。
因此,這便(biàn)導致了折射係統的第二個缺點:吸(xī)收。在大功率激光聚焦係統中,即使是很小一部(bù)分的光能量被吸收,就可能導致(zhì)鏡頭嚴重損壞。傳統的解決方案是選(xuǎn)擇鏡頭材料以及鍍膜,以進步對應激光波優點的透射率。
不(bú)幸的是(shì),當同時需要多譜成像和大(dà)功率激(jī)光器時,這兩(liǎng)種解決方案並不能互相補(bǔ)足。在折射係統中,由於波段變寬,鍍膜所能夠達到的高透射(shè)任性能大大降低。因此對於一個傳統的鏡頭係統來說,要麽(me)需要限(xiàn)製光譜範圍,要麽限製激光功率,這(zhè)兩者不能同時滿足。
多透鏡需求
突顯這種困境的潛伏本錢(qián)的一種應用是:在生產過程中檢(jiǎn)測和修理(lǐ)平板顯示。用可見光掃描整(zhěng)個平(píng)板(bǎn)表麵,以找有缺陷,一旦缺陷被識別出來,高功率激光束(通常由1064nm的Nd:YAG激光器輸(shū)出)就會對準(zhǔn)缺陷部位進(jìn)行融化。對於服務於該應(yīng)用的單獨光學係統,其必須在紅外波段和可見(jiàn)光波段有著很高的透射率。而且,係統必須要將紅外光和可見光聚焦在相(xiàng)同點,這樣才能保證(zhèng)激光(guāng)束能夠可靠地投(tóu)射到缺陷處。
即便是能(néng)夠找到合適的材料在如此寬泛的(de)波段都能提供優良的(de)透射性能(néng),如此複雜且要求苛刻的光學係統也會非常昂貴。因此,已經實施的解決方案就是使用兩組複合物鏡。第一組(zǔ)複合物(wù)鏡(jìng)用(yòng)於可見光掃描,通(tōng)常結合氦氖激(jī)光器光(guāng)斑通過係統透射用於準直(zhí)目的。當氦氖激光光斑指(zhǐ)向缺陷部位時,透(tòu)鏡係統的電動控製台就(jiù)會(huì)移動到此處,然後(hòu)用近紅外光來代替可見光(guāng)路並進行激光往(wǎng)除。
由於需要多重(chóng)鏡頭組、電動調整台等,因此這種方案不但本錢高昂,而且維修用度也非常(cháng)高。近紅外鏡頭與可見光鏡(jìng)頭(tóu)不(bú)能夠同時聚焦在相同的(de)平麵,因此係統的(de)準直非常重要,以確保激光燒蝕正常工作。
假如采用反(fǎn)射光學係統,則隻需要幾個光學元(yuán)件就能滿足該應用需求,由(yóu)於反射係統不受波長約束。反射係統不會產生散射;聚焦隻與幾何麵型有關係(xì),因(yīn)此不需要用多(duō)種元件進(jìn)行校正。反射光路通過係統(取決於(yú)反射鏡的反射率)與波長有關,但是波長(zhǎng)對其產生的(de)影(yǐng)響並不大。金屬反射膜的光譜(pǔ)範圍有10μm、20μm等,不同的材料有著不同的反射率,從而答應反射(shè)鏡處理從紫外(150nm)到短波紅外(20μm)波段(duàn)的(de)光。假如(rú)需要極高的反(fǎn)射率以避免激光內(nèi)部熱(rè)源的(de)影(yǐng)響,則需要特殊的激光膜層,以進步激光波優點的反射率,同時(shí)在(zài)其(qí)餘波段不會(huì)對係統的性能產生影響。
典型的反射係統(tǒng)隻有幾個光學元件:一個(gè)主鏡用來聚焦,一(yī)個二(èr)級反射鏡將光(guāng)路進(jìn)行轉折到更有利(lì)的(de)位(wèi)置(zhì)。二級反射鏡由一個(gè)“三腳架”固定,並用一個鏡筒來固定(dìng)整個光學係統。由於這種反射係統簡化了光路,因此與折射係統相比,能夠大幅縮減本(běn)錢(qián),而且可以使結構變得更加緊湊,更加牢固,這是(shì)由於通過反射鏡的反射,係統的光軸發生(shēng)變化,從而減少(shǎo)了係統的長度。
例如,在(zài)麵板檢測以(yǐ)及維修時, 反射(shè)係統的(de)優(yōu)點能夠得(dé)到(dào)很好的體現(xiàn):隻需要一個鏡頭就能夠代替(tì)折射係統的兩(liǎng)個鏡頭,不需要安裝電動移位台器件,體積得到進一步縮小,降低了(le)本錢,並能夠進步產能,由於在使用時不再需要轉換物鏡。這種簡化版的光學設計同時意味著係統調整變(biàn)得更加簡(jiǎn)單,比折射(shè)係統的投資回(huí)報(bào)率高出(chū)了很多。
設(shè)計考量
在多光譜應(yīng)用中,反(fǎn)射光(guāng)學係(xì)統比折射光學係(xì)統更易於設計和實施;然而,在選擇反(fǎn)射式物鏡時必(bì)須(xū)要考慮以下一些因素:第一就是選擇固定的係統還是可以調(diào)整的係統。固(gù)定版物鏡在工廠生產(chǎn)的時候就已調整到最佳狀態,這種版本即使在震動以及意外(wài)碰撞下也不需要重新(xīn)校準。而(ér)且,由於固定版物鏡安裝要(yào)比可調(diào)整版更結實可靠,即使從適當的位置(zhì)跌落或掉落也不會(huì)影響(xiǎng)其使用(yòng)。
使得(dé)係統(tǒng)更(gèng)牢固、更緊湊
固定(dìng)版鏡頭非常適用(yòng)於環境惡劣的產業應用,在安裝時不(bú)需要調整。為了具體說明這種物鏡,開發職員必(bì)須知道(dào)變化間隔——要麽無窮遠(yuǎn)或特殊的管長,以及蓋玻片厚度。一旦布置好後,以後就不需要再進行調整(zhěng)了。
調整版反射(shè)物鏡可通過一個或兩個參數來調整:鏡筒長度可調(diào),或校(xiào)正由於蓋玻片的厚度變化而導致的球差。通常隻有鏡頭本身發生改變時才進行調整,但(dàn)是,當主鏡和附鏡之間的(de)間隔發生變(biàn)化時,也需要(yào)進行調整(zhěng)。廠商通常在出貨前會將光學性能調整到(dào)最佳狀態,帶調整說明以及特殊部位說明,比(bǐ)如調(diào)整圖片(piàn)。使用者可將其安裝在係統中,可通過鏡筒長度和(hé)蓋玻片厚度(dù)進(jìn)行調整,然後固定。
當調整型鏡頭需(xū)要定期調(diào)整時,其可通過多重結構來調整,功能多(duō)樣。這(zhè)種鏡頭為現貨供給,比如(rú)可與小於(yú)典型值長度的鏡筒和蓋玻片(piàn)厚度配套(tào)使用,不需要添加其他配件及額(é)外用度就能夠滿足用戶的特殊需求。
無(wú)論(lùn)是固定版還是調整版,在購買(mǎi)反射式物鏡時都需要留意一些關鍵點。其中最主要的是二級反射鏡以及三(sān)角座為成像(xiàng)帶來的陰影(yǐng)尺寸。二級反(fǎn)射(shè)鏡布(bù)局在主光路上,將不可避免(miǎn)地阻擋一部分光束通過係統,降低光束質量。三角(jiǎo)座的三個腿可導致衍射效(xiào)應,采用(yòng)四(sì)腳直行設(shè)計時情況更為嚴重。四腿對稱設計各(gè)個腳都(dōu)會導致衍射效應,而且會相互疊加。三腿彎曲設計會避免上述缺陷,使光能透射更加均勻。
在使用反射物鏡時,另外一個需要考慮的因(yīn)素(sù)是激光功率。這(zhè)種反(fǎn)射物(wù)鏡采用(yòng)標準金屬膜層,應用範圍廣,但卻並不是大功率(lǜ)輸出激光器的最佳選擇(zé)。在與高功率激光配套使用時,需要考慮膜層的(de)損傷閾值。有(yǒu)些廠商可以根據用戶的要求(qiú)定製。
反(fǎn)射式物鏡可用於多種(zhǒng)應用領域(yù),如激光(guāng)退火或鑽孔,可(kě)將可見光波長與紅外功率傳輸兩者相(xiàng)結合。使用(yòng)一套光學係統就可丈量波長為190nm到1μm薄膜的厚度(dù)。隻要在傳(chuán)感器的響應(yīng)範圍之內(nèi),成(chéng)像係統可涵蓋(gài)各種波長範圍而不需要添加任何光學元件。