打標應用中,掃描振鏡采用的反射鏡類型包含有石英基底材料,厚度在2.0和(hé)7.0 mm之間,這取決於反射鏡尺寸和(hé)角加速度。電解質鍍膜在對應的波長範圍內(例如,對(duì)於高功率半導體激光器和入(rù)射角兩側偏轉範圍超過±12 時,在780 nm980 nm之間)提供足夠的反(fǎn)射率(>98.0%)。這種反射鏡通常能承受的功率密度達500 W/cm2,對於傳統的打標應用(yòng)綽綽有餘。掃描頭引入其他應用場合後帶來了其他挑戰,比如聚合物焊(hàn)接。這些應用要求對(duì)工件溫度(dù)進行精確控製,通(tōng)常(cháng)通過高溫計進行非接觸式測量。對於這(zhè)項技(jì)術,工件的熱輻射信(xìn)號必須從激光光斑位(wèi)置沿激光(guāng)光路返回到傳感(gǎn)器中,比如,通過振鏡鏡片反射回。高溫測量典(diǎn)型波長範(fàn)圍為1.72.2 m。由於該波長範圍(wéi)內的介電層對於激光輻射是可穿透的,因此在石英基底背(bèi)麵加上一(yī)層鋁鍍膜便可解決問題。這裏應提醒讀者,如果(guǒ)要擴展(zhǎn)波長範圍,則需要調整掃描光學係統。 
更高功率的其他新(xīn)應用,比如激(jī)光遠程焊接、遠(yuǎn)程切割、或掃描熱處(chù)理,要求幾百瓦到甚至數千瓦的功率,這對振鏡掃描頭(tóu)提出了新(xīn)的挑戰。即使介質反射鏡反射率很高(特別有鍍(dù)鋁層(céng)後),部分光線(<2%)仍可(kě)能透(tòu)射並被反射鏡基底(dǐ)或周圍部件(jiàn)吸(xī)收。對於低功率激光(guāng)器而言,這種情況很好處理(lǐ)。不過高功(gōng)率激光器(qì)可(kě)能導致裝置內部(bù)產生大量熱量,由此導致(zhì)明顯的熱漂移和不合格的長期穩(wěn)定性波動(dòng)。因此,掃(sǎo)描裝置(zhì)水冷功能非常必要,但通常不足以解決問題。這是因為它無法避免石英反射鏡(jìng)的熱載荷和其導致的(de)影響,比如導(dǎo)致膠層(céng)形變甚至變軟或者(zhě)由於(yú)轉子和軸承(chéng)發熱導致振鏡驅(qū)動故障。因(yīn)此,新的鏡(jìng)麵技術(shù)必不可少。 
石英的一大缺點是它的熱導率很低,這導致(zhì)它的冷卻性能(néng)很(hěn)差。矽基材料,比如矽或碳化矽,可提供較高的熱導率。由於碳矽基材料強度更高,因此(cǐ)允許減小其厚度,盡管其密度較高,仍可減輕總體質量。如果使用不透明基(jī)底,如SiSiC,寬波段反射鍍鋁層可直接鍍在鍍電介質膜和(hé)矽基(jī)材料(liào)之間介電(diàn)層上。對反射鏡(jìng)基底(dǐ)機械設計進行仔細的模(mó)型計(jì)算,可在穩定性、重量、導熱性和轉動慣量方麵獲得最優化(huà)的設計(jì)。