隨(suí)著科(kē)技(jì)技術的發展(zhǎn)和經濟全(quán)球化(huà),當今人類已進入知識經濟社會和信息社會。並且伴隨“中國製造”的發展,光(guāng)學製造在中(zhōng)國大陸的土地上方興未(wèi)艾,發展迅猛異常。中國光學製造已經(jīng)開(kāi)始在國(guó)際經濟舞(wǔ)台上有了重要的地位,中(zhōng)國的光學玻璃產量和光學零件(jiàn)產量已近名列第一。

光學薄膜(mó)是改變光學零件表麵特征而鍍在光(guāng)學零件(jiàn)表(biǎo)麵上的一層或多層膜。可以是金屬(shǔ)膜、介質(zhì)膜或這兩類膜(mó)的組合。光學薄(báo)膜是各種先進光電技(jì)術中不可缺少的一(yī)部分,它不僅能改善係統性能,而且是滿足設計目標的必要手段,光(guāng)學薄膜的應(yīng)用領域設及光(guāng)學係統的(de)各個方麵,包括激(jī)光係統,光通信,光顯示,光儲存等(děng),主要的光學薄膜器件包括(kuò)反射膜、減反射膜、偏振膜、幹涉濾光片和分光鏡等等。

 

它們在國民經濟和國防建設中得到了(le)廣泛的應用,獲(huò)得了科學技術工作者的日益重視。

目(mù)前,光學鍍膜(mó)材料常用品種已達60餘種,而且其品種、應用功能還在不斷(duàn)被開發。近年來以發展到了金屬膜係,當金、銀、銅和鋁的厚度為7——20um時,其(qí)對可見光的透射率(lǜ)為50%,而紅外光透(tòu)射率小於10%,這種薄膜已成功地應用於阿波羅(luó)宇宙飛(fēi)船的麵板,用(yòng)於透過部分可見光,而反射幾乎全部的紅外光以進行熱控(kòng)製。以下本(běn)文主要(yào)介紹光學薄膜的特性原理(lǐ)及分類。

 

一、光學薄膜的定義

 

由薄的分層介質構成的,通(tōng)過界(jiè)麵(miàn)傳播光束一類光學介質(zhì)材料,光學薄膜的應用始於20世紀30年代,光學薄膜已經廣泛用於光學和光電子技術領域,製造各種光學儀(yí)器。製備條要求件高(gāo)而精。

 

光學薄膜的定義是:涉及(jí)光在傳(chuán)播路徑過程中,附著在光學器件表麵的厚度薄而均勻(yún)的(de)介質膜(mó)層,通過分層介質膜層時的反射、透(折)射和偏振等特性,以達到我們想要的(de)在(zài)某一(yī)或是多個波段範圍內的光的全部透過或光的(de)全部反射或偏振分離等各特殊形(xíng)態的光。

 

光學薄膜在我們的生活中無處不在,從精密及光(guāng)學設備、顯示器設備到日常生活中的光學薄膜應用;比方(fāng)說,平時戴的眼鏡、數碼相機、各(gè)式家電用品,或者是鈔票上的防偽技術,皆能被稱之為光學(xué)薄膜技術應用之延伸。倘若沒有光學薄膜技術作為發(fā)展基礎,近代光(guāng)電、通訊或(huò)是鐳(léi)射技術將無法有所進展,這也(yě)顯示出光學薄膜技術研究發(fā)展的重要(yào)性。

 

光學薄膜係指在光學元件或獨立基板上,製(zhì)鍍上或塗布一層或多層(céng)介電(diàn)質膜或金屬膜或這兩類膜的組合,以改變光波之傳遞特性,包括(kuò)光的透射(shè)、反射(shè)、吸收、散射、偏振及相位改變。故經由適當設計可以調變不同波段元件表麵之穿(chuān)透(tòu)率及反射(shè)率,亦可以使不同偏振平麵的光具有不同的特性。

 

一般來說(shuō),光學薄膜的生產方式主要分(fèn)為幹法和濕法的(de)生產(chǎn)工藝。所謂的幹式就是沒有液體出現在整個加工過程中,例如真空蒸鍍是在一真空環境中,以電能加熱固(gù)體原物料,經(jīng)升華成氣體後附著在一(yī)個(gè)固體基材的(de)表麵上(shàng),完成塗布(bù)加工。日常生活中所看到裝飾用的金色、銀色或具金屬質感的包裝膜,就是以幹式塗布方式製造的產品。

 

但(dàn)是在實際量產的考慮下(xià),幹式塗布運用的範圍小於濕式塗布。濕式塗布一般的做(zuò)法是把具有各種功能的成(chéng)分混合成液態塗料,以不同的加工方式塗布在基材上,然後(hòu)使液態(tài)塗料幹燥固化做成產品。

 

二、薄膜幹涉(shè)原理

 

1、光(guāng)的波動性

19世紀60年代,美國物理學家(jiā)麥克斯韋發(fā)展了電磁理論,指出光(guāng)是一種電磁波(bō),使波動說發展到了相當(dāng)完美的地步。

 

由光的波粒二象(xiàng)性可知(zhī),光(guāng)同無線電波、X射線、?射線一樣都是電磁(cí)波,隻是它們的頻率不同。電磁波的波長λ、頻率u和傳播速率V三者(zhě)之間的關係為:

V=λu

由(yóu)於各種頻率的電磁波在真空中德傳播速度相(xiàng)等,所以頻率不同的電磁波,它們的波長也就不(bú)同。頻率高的波長短,頻率低的波長長。為了便(biàn)於比較(jiào),可以按照無線電波、紅外線、可見光、紫外(wài)線、X射線和伽瑪(mǎ)射線等的波長(或頻(pín)率)的大小,把它們依次排成一個(gè)譜,這個譜叫電磁波譜。

 

在電磁波譜中,波長最長的是無線電(diàn)波,無線電波(bō)又因(yīn)波(bō)長(zhǎng)的(de)不同而分為長波(bō)、中波、短波、超短波和微波等。其次(cì)是紅外(wài)線、可見光和紫外線,這三部分合稱光輻射。在(zài)所有的電磁波中,隻有可見(jiàn)光可以被人眼所看到。可見光的波長約在0.76微米到0.40微米之間,僅占電磁波譜中(zhōng)很小的一部分。再次是(shì)X射線(xiàn)。波長最(zuì)短的電磁波是(shì)y射線。

 

光既然是一種電磁波,所以在傳播過程中,應該變現出所具有的特征---幹(gàn)涉(shè)、衍射、偏振等現象。

 

2、薄膜幹涉

薄膜可以是透明固體、液體或由兩塊玻璃所夾的(de)氣體薄層。入射光經薄膜上表麵反射後得第一束光,折射(shè)光經薄膜下(xià)表麵反射,又經上表麵折射後得第二束光,這兩束光在薄膜的同側,由同(tóng)一入射振動(dòng)分出,是相幹光,屬分振幅幹涉。若光(guāng)源為(wéi)擴展光源(麵光源),則隻能在(zài)兩相幹光束的(de)特定重疊區才能觀(guān)察到幹(gàn)涉,故屬定域幹涉。對(duì)兩表麵互相平行的平麵薄膜,幹涉條紋(wén)定域在無窮遠,通常借助於會聚(jù)透鏡在其像方焦麵內觀察;對楔形薄膜,幹(gàn)涉條(tiáo)紋(wén)定域在(zài)薄膜附近。

 

實驗和理(lǐ)論都證明(míng),隻有兩列光波具有一定關係時,才能產(chǎn)生(shēng)幹涉條(tiáo)紋,這些(xiē)關係稱為相幹條件。薄膜(mó)的相幹條件包括三點:兩束光波的頻率(lǜ)相同;束光波的震動方向相(xiàng)同(tóng);兩束光波的相位差保持恒定。

 

薄膜幹涉兩相幹(gàn)光的光程差公式為:

Δ=ntcos(α)±λ/2

式中n為薄(báo)膜的折射(shè)率(lǜ);t為(wéi)入射點的薄膜厚度;α為薄膜內的折射角;λ/2是由於兩束相幹光(guāng)在性質不(bú)同的兩個界麵(一個是光疏(shū)介質到光(guāng)密介質,另一個是光密介質到(dào)光疏介質(zhì))上反射而引起的附加光程差。薄膜幹涉原理廣泛應用於光學表(biǎo)麵的檢驗、微小的角度或線度的精密測量、減反射膜和幹涉濾光片的製備等(děng)。

 

光是由光源中原子或分子(zǐ)的運動狀態發生變化輻射出(chū)來的(de),每個原子(zǐ)或分子每一次發出的光波,隻有(yǒu)短短的一列,持續時間約為10億秒(miǎo)對於兩個獨(dú)立的光源來說,產生幹涉的三個條件,特(tè)別市相位相同或相(xiàng)位差恒定不變這個條件,很不容易滿足,所以兩個獨立的一般光(guāng)源是不能構成相幹光源的。不僅如此(cǐ),即使(shǐ)是同一個光源上(shàng)不同部(bù)分(fèn)發出(chū)的光,由於它們是不同的(de)原子或分子所(suǒ)發出的,一般也不(bú)會幹涉。

 

3、光學(xué)薄膜(mó)特點分類

主要的(de)光學薄膜器件(jiàn)包括(kuò)反射膜、減反射膜、偏振膜、幹涉(shè)濾光片和分光鏡等等,它們(men)在國民經濟和國(guó)防建(jiàn)設中得到廣泛的應用(yòng),獲得(dé)了科學技術工作者的(de)日益重視(shì)。例如采用減反射膜後可使複雜的(de)光學鏡頭的光通量損失(shī)成十(shí)倍的減小;采用高反射膜比的反射鏡可使激光器的輸出功(gōng)率成倍提高;利用光學薄膜可提高矽電池的效率(lǜ)和(hé)穩定性。

 

最簡單的光學薄膜(mó)模型是表麵光滑、各向同性的均勻介質膜層。在這種情況下,可以用光的幹涉理論來(lái)研究光學薄膜的光學性質。當一(yī)束單色光平麵波入射到光學薄膜(mó)上時,在它的兩個表麵上發生多次(cì)反射和折射,反射光和折射光的方向有(yǒu)反(fǎn)射定(dìng)律和折射定律給出,反射光合折射光的振幅大(dà)小則有菲(fēi)涅爾公式確定。

 

光學薄(báo)膜根據其用途分類、特(tè)性與應用(yòng)可(kě)分為:反射膜(mó)、增透膜(mó)/減反射(shè)膜、濾光片、偏光片/偏光膜、補償膜/相位差(chà)板、配向膜、擴散膜/片、增亮膜/棱(léng)鏡片/聚光片、遮(zhē)光膜/黑白膠等。相關衍生的(de)種類有光學級保護膜、窗(chuāng)膜等。

 

光學(xué)薄膜的特點是:表麵光滑,膜層之間(jiān)的界麵呈幾何分割;膜(mó)層的折射率在界麵上可以發生(shēng)躍變,但在膜層內是(shì)連續的;可以是透明介(jiè)質,也可(kě)以是吸收介質;可以是法向均勻(yún)的,也可以是法向不(bú)均勻的。實際應用的薄膜(mó)要比理想薄膜複雜得多。這是因為:製備時,薄膜的光學性質和物理性質偏離大塊材料(liào),起表麵和界麵是粗糙的(de),從而導致光束(shù)的漫反射;膜層之間的(de)相互滲透形成擴散(sàn)界(jiè)麵;由於膜層的生長、結構、應力等原因,形成了薄膜的各種(zhǒng)向異性;膜層具有複雜的時間效應。

 

反(fǎn)射(shè)膜一般可分為兩類,一類是金屬反射膜,一類是(shì)全電介質反射膜。此外,還有將兩(liǎng)者(zhě)結(jié)合的金屬電(diàn)介質反射膜,功能是增(zēng)加光學表麵的反射(shè)率。

 

一般金屬都具有較(jiào)大的消光係數。當(dāng)光束由空氣入(rù)射(shè)到金屬表麵時,進入金屬內的光振幅迅速衰減,使得進入金屬內部的光能相應減少,而反射光(guāng)能增加。消光係(xì)數越大,光振幅衰減越迅速,進入金屬內部的光(guāng)能越少,反射率越高。人們總是選擇消(xiāo)光(guāng)係數較大,光學性質較穩定的金屬作為金屬膜材料。在紫外區常用的金屬(shǔ)薄材料是鋁,在可見光區常(cháng)用鋁和(hé)銀,在紅外區常用金(jīn)、銀和銅,此外,鉻和鉑也常作一些特種薄膜的膜料。

 

由於鋁、銀(yín)、銅等(děng)材料(liào)在空氣中很容易(yì)氧化而(ér)降低性能,所以必須用(yòng)電介質膜加以保護。常(cháng)用的保(bǎo)護膜材料(liào)有一氧(yǎng)化(huà)矽、氟化鎂、二氧化矽、三氧化二鋁等。

 

金屬反(fǎn)射膜的(de)優點是製(zhì)備工藝簡單(dān),工作的波長範圍寬;缺點是光損大(dà),反射率不可能很高。為了使金屬反射膜的反(fǎn)射率(lǜ)進一步提高(gāo),可以在膜的外側加鍍幾層一定厚度的電介質層,組(zǔ)成(chéng)金屬電介質反射膜。需要指出的是,金屬電(diàn)介質射膜增加了某一波長(或者某一波區)的反射率(lǜ),卻破壞了金屬(shǔ)膜中(zhōng)性反射的特點。