平麵度（flatness;planeness)，是屬（shǔ）於形位公差中的一種，指物體表麵（miàn）具有（yǒu）的宏觀凹凸高度相對理想（xiǎng）平麵的偏差。在傳統的檢測方法中，平麵度的測量通常有（yǒu）：塞規/塞尺測量法、液平麵法、激光平麵幹涉儀測量法（平晶幹涉法）、水平儀（yí）/數字水平儀測量（liàng）法、以及（jí）打表測量法。

 

塞尺測量法，隻需一套可隨（suí）身攜帶的（de）塞尺就可（kě）隨時隨（suí）地（dì）進行平麵度的粗測。目前很多（duō）工廠仍使用該方法進行檢測。由於其精度不高，常規最薄塞尺為10um，檢測效率較低，結（jié）果不夠全麵，隻（zhī）能檢測（cè）零件邊緣。

 

液平麵法，基於（yú）連（lián）通器工作原理，適合測量連續或不連續（xù）的（de）大平（píng）麵的平麵度，但測量時間長，且（qiě）對溫度敏感，僅適用（yòng）於（yú）測量精（jīng）度較低的平麵。

 

激光平麵幹涉儀測量法，最（zuì）典型（xíng）的用法是平晶幹涉法。但主要於測量（liàng）光潔的小平麵的測量，如千分頭測量麵，量規的工作麵，光學透鏡。

 

水平儀測量法，廣泛用（yòng）於工件表（biǎo）麵的直線度和平麵度測量。測量精度高、穩定性好、體積小、攜帶方（fāng）便。但是用該（gāi）方法測量時需（xū）要反複挪動儀器位置，記錄各測點的數據，費（fèi）時、費力，調整時間長，數據處理程序繁瑣。

 

打表測量法，典型應用為平板（bǎn）測微儀及三坐標儀，其中優以三坐標儀為應用最廣泛。測量時指示器在待測樣品上移動（dòng），按選定的布點測取各測量點相對於測量基（jī）準的數據，再經過（guò）數據處理評定出平麵度誤差。但其效率較低，通常一個樣品需要（yào）幾分鍾，離15ppm的期望相差甚遠。