濾光片膜(mó)層(céng)厚度的均勻性是指膜(mó)厚隨著基板表(biǎo)麵位置變(biàn)化而變化的情況。膜厚均勻性不好,膜係特(tè)性會遭到(dào)嚴重的(de)破壞,所(suǒ)以(yǐ)薄膜厚度的均勻性如(rú)同薄膜厚度監控一樣是一個重要的課題。
對於不同的薄膜往往有不同的(de)均勻性要(yào)求。對單層MgF2減反射膜,若膜厚為λ0/4(λ0=520nm),則均勻性誤差一般不(bú)得超過40nm,否則就會(huì)在同一基板上出現不同顏色。要求最嚴格的是(shì)窄帶濾光片(piàn),其均勻性誤差所引起的(de)整個(gè)濾(lǜ)光片表麵上的峰值波長變化不能大於半寬度的(de)0.3倍。對於一個直徑不(bú)大(dà)於50mm、在可見(jiàn)光區(qū)半寬度不小於20nm的濾光片,這個要(yào)求不算太高,但(dàn)是對於更大直徑和更窄半寬(kuān)度(dù)的濾光片問題就非常突出。對截止陡度要求很高的截止濾(lǜ)光片也是同(tóng)樣,均勻性不好將導致(zhì)過渡性嚴重(chóng)惡化。
兆(zhào)九光電憑借技術上的優勢,生產的濾光片都具有極(jí)佳的均勻性,得到了客戶的一致好評。