大（dà）鍍膜是一（yī）個比較有特色的鍍膜（mó）技術，在國家863高技（jì）術項目的推（tuī）動下，鍍膜設（shè）備（bèi）和技術不斷得到更新和改進。同時遇到的問題（tí）既（jì）具有普遍性又有不同於一般小口徑光學元件的特殊性。本文圍繞著大型激光反（fǎn）射鏡光學薄膜元件鍍膜中的關鍵問題進（jìn）行了分析（xī）研究。主要內容包括：
㈠普遍性問題：大型激光光學元件主要以反射膜為主，在反射膜的鍍製檢驗中，膜層的環（huán）境穩定性是一個很重（chóng）要的指標。通過一係列條件實驗研究了膜層的保護性能，對膜層的微（wēi）觀結構進行了分析，給出了改善附（fù）著原因的解釋。光性主（zhǔ）要是用離子輔助沉積解決了介質膜（mó）層的（de）吸收，寬波段反射膜係設計解決了反射帶的展寬，從實驗上獲得了較好的效果。
㈡特殊性問題：由於大型激光光學元件具（jù）有很大尺寸和重量，因此在整個鍍製過程中元件裝卡的（de）安全性，工（gōng）裝（zhuāng）夾具的強度與麵形變化的關係需要深入的研究。應用有限元法對大型激光元件作了靜力學分析，提（tí）出了工裝夾具改進（jìn）方案，對今後將要鍍製（zhì）的更大型的（de）光學薄膜元件的裝卡方式和夾具進行了探（tàn）討。