隨著激光技術的（de）發展, 人們將注意力越（yuè）來越（yuè）多地投注到激光技術在其他技術領域和工業領域的應用上, 並且出現了許多切合實際應（yīng）用的新（xīn）設備。在這些激光應用領域中, 無不涉及到對激光光束的調製和掃描技（jì）術早（zǎo）期（qī）的激光（guāng）應用係統, 如: 激光切割, 焊接, 打標等設備均采用固定激（jī）光頭同時沿X一Y 方向移動載有被加工（gōng）物體的平台。這種方式具有方便和簡潔等特點, 配合高精度的驅動電機和轉動絲杠也（yě）可獲得很高（gāo）的加工精度。但是平台的移（yí）動速度和行程均受（shòu）到很大的限製, 對於在線應用的係統就顯得力不從心了。

旋轉多棱鏡是另外一種激（jī）光束掃描調（diào）製的手段。在（zài）這種掃（sǎo）描方式中, 一個高速旋轉的電機帶動著多角棱（léng）鏡旋轉, 激光束投射到棱鏡的表麵上並反射。在棱鏡轉（zhuǎn）動的過程中, 投（tóu）射到棱（léng）鏡表麵（miàn）激光的入射角發生變化從而使反射（shè）光完成掃描過程。在這種掃描（miáo）方（fāng）式中, 可以實現很高的掃描（miáo）頻率和較大的掃描角度早（zǎo）期的激光打印機和激光照排等（děng）設備中, 大多（duō）使用這種掃描方式。但是旋轉多棱鏡的最大缺陷在於它的掃描（miáo）效率很低, 因此在（zài）一些需要（yào）較大的入射孔徑和較高分辨（biàn）率的應用（yòng）中, 就不能令人滿意了。

振鏡式掃描是由G e n e r a l cS a n n i n g 實驗室發（fā）展起來的一種激光掃描技術, 自從1 9 6 5年第一個振鏡掃描（miáo）頭被發明（míng）以來, 在（zài）掃描精度上和頻率上（shàng）有了長（zhǎng）足的（de）發展。從目前的掃描性能上來說, 振鏡式掃描可以算作最好的激光掃描方式之一。它是利用兩個振鏡（jìng）掃描頭構成的二維激光掃描成像裝置。目前（qián）這樣的激（jī）光掃描裝置已廣泛地應用到激光打標,半導體（tǐ）調（diào）阻和共焦顯微成像係統中。

通常使用的這（zhè）種基於激光掃描的（de）成像技（jì）術（shù）稱為“ 激光共焦( 顯微) 成像” 技術。在這種激光共焦顯微成像係統中, 一隻固定的高靈敏度（dù）點探測器代替了傳統的C C D。光束（shù）掃描係統(通常（cháng）采用振鏡掃描係統) 將激光光束指向被檢測物體上的一點, 成像（xiàng）係統將來自該點的反射光會聚於點探測器並構成最終成像中的（de）一像素。然後光（guāng）束掃描係統將激光束指向下一點, 檢（jiǎn）測過程再重複進（jìn）行。如此一點一點進行測量, 直至全部成像完成。與C C D成（chéng）像方式不同（tóng）, 在這樣的檢測過程中, 像（xiàng）素的位置由掃描光束的位置確定而不是（shì）由( C C D中) 探測器中的固定檢測單（dān）元決定。因此（cǐ）這樣的檢測方式中, 我們可以通過軟件來控製變焦過程。成像像素數（shù）目( 分辨率) 則由掃描像素（sù）時鍾( P i x e l C l o e k )確定。在許多實際應用中, 上述技術( 相幹光加上像（xiàng）素密度（dù）可調節) 較傳統C C D 技術有（yǒu）很（hěn）大的優越性。這些應用包括: 共（gòng）焦成像, 雙光子激發（fā）成像, 熒（yíng）光成像, 金（jīn）屬及玻璃等缺陷檢測/ 監（jiān）測等（děng）過程。